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薄膜测厚
光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar膜、OCA光学胶、光阻等测量。
应用在涂胶工序时,该设备可放置于涂胶池后、烘箱前,在线测量涂胶的厚度; 也可以在线测量离型膜涂布的厚度。其精度极高,应用甚广,尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。
产品性能/参数
测量范围: 0.1pm~100μm
测量精度: 0.4%
测量重复性: ±0.4nm (3σ )
波长范围: 380nm~1100nm
响应时间: 5~500ms
测量光斑: 1mm~30mm
动态扫描测量重复性:10nm