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CDM厚度面密度测量一体机
应用场合 涂布工序:在线检测极片微小特征,常见的极片微小特征:漏涂、缺料(未漏集流体,且与正常涂覆区灰度差异小,CCD无法识别)、刮痕、削薄区厚度轮廓、AT9厚度检测等。
CDM技术检测特点 情景1:极片表面有2mm宽的漏涂/少涂,且一侧边缘削薄偏厚。 射线光斑>20mm,其测量原始数据的轮廓形状下图橙色线;激光光斑<0.05mm,其测量原始数据的轮廓形状下图蓝色线 激光光斑空间分辨力高于射线光斑,可以清晰测量出极片轮廓。
情景2:在线测量削薄区0.1mm宽度厚度轮廓数据
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